硅材料单晶硅多晶硅产品清洗超纯水设备

硅材料单晶硅多晶硅产品清洗超纯水设备

在单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能电池硅片、半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清---除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。所以单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能电池硅片、半导体器件生产中用超纯水，目前制取超纯水工艺可分为反渗透+混床超纯水设备，二是反渗透+EDI超纯水设备，这是两种制取超纯水设备常用的工艺。超纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。水中的碱金属（K、Na等）会使绝缘膜耐压不良，重金属（Au、Ag、Cu等）会使PN结耐压降低，III族元素（B、Al、Ga等）会使N型半导体特性恶化，V族素（P、As、Sb等）会使P型半导体特性恶化，水中细菌高温碳化后的磷（约占灰分的20%~50%）会使P型硅片上的局部区域变化为N型硅而导致器件性能变坏。水中的颗粒（包括细菌）如吸附在硅片表面，就会引起电路短路或特性变差。

超纯水中杂质的污染源      

1.水源的影响      

由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天---然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天---然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等。      

2.材料的影响    

制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。一些高分子材料,在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂、紫外吸光剂、着色剂，也引入大量的金属、非金属杂质，同时还会带来有机污染。      

硅是地球上储藏丰富的材料之一，从19世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后，它几乎改变了，甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始，硅材料就取代了原有锗材料。硅材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用多的一种半导体材料，目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。现在，我们的生活中处处可见“硅”的身影和作用，晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化快的。

熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着国内和市场对单晶硅片需求量的快速增加，单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。

单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸（300毫米）及18英寸（450毫米）等。直径越大的圆片，所能刻制的集成电路越多，芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶硅按晶体生长方法的不同，分为直拉法（CZ）、区熔法（FZ）和外延法。直拉法、区熔法生长单晶硅棒材，外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。目前晶体直径可控制在Φ3~8英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域，广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。目前晶体直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成电路领域。

由于成本和性能的原因，直拉法（CZ）单晶硅材料应用广。在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片，因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片，因其在IC制造中有的适用性并具有消除Latch－up的能力。
 

单晶硅也称硅单晶，是电子信息材料中基础性材料，属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域，当今超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。

多晶硅是由许多硅原子及许多小的晶粒组合而成的硅晶体。由于各个晶粒的排列方向彼此不同，其中有大量的缺陷。多晶硅一般呈深银灰色，不透明，具有金属光泽，性脆，常温下不活泼。多晶硅是用金属硅(工业硅)经化学反应、提纯,再还原得到的高纯度材料(也叫还原硅)。目前世界上多晶硅生产的方法主要有改良西门子法(SiHCl3)、新硅烷法(SiH4)、SiH2Cl2热分解法、SiCl4法等多晶硅生产工艺。当前多晶硅的市场状况是：从上来看，早几年多晶硅还处于供过于求的局面，2004年开始，由于太阳能产业的发展，太阳能用多晶硅供不应求，导致多晶硅供应紧张。在国内，我国多晶硅生产长期不能满足国内市场需要，严重依赖于进口。

太阳能电池片,中文名称:太阳能电池板 英文名称:solar cell panel 定义:由若干个太阳能电池组件按方式组装在一块板上的组装件.太阳能电池板 Solar panel,分类：晶体硅电池板：多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池。非晶硅电池板：薄膜太阳能电池、有机太阳能电池。太阳能电池板：太阳能电池板是太阳能发电系统中的核心部分，也是太阳能发电系统中价值高的部分。其作用是将太阳能转化为电能，或送往蓄电池中存储起来，或推动负载工作。太阳能电池板的质量和成本将直接决定整个系统的质量和成本。

超纯水设备是指采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备，用于制取超纯水的机器，超纯水初是科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为去离子水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。超纯水设备行业水质标准超纯水水质分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

超纯水设备技术发展史：

di一代：预处理 -阳床-阴床-混床

di二代：预处理 -反渗透-混床

di三代：预处理 -反渗透-电去离子（EDI）

多晶硅片,半导体器件，太阳能光伏行业硅片清洗水质要求非常高，电阻率达18兆以上，目前选工艺是全膜法制取超纯水，全膜法超纯水设备是指采用盘滤+UF+RO+EDI+SMB组成的工艺设备，即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺，除盐采用二级反渗透＋EDI工艺使産水电阻率达到15MΩ.cm以上，终端供水采用变频供水泵＋二级精精混床＋终端超滤膜使産水电阻率达到18.2MΩ.cm，经处理后的产水水质达到《电子级水GB/T11446.1-1997 Ⅰ级》水质标准。

全膜法超纯水设备该超纯水设备关键技术EDI系电渗析(ED)和离子交换技术(DI)有机结合，达到连续除盐、运行维护简单、无酸碱排放污染。在膜处理系统中，用做前处理的超滤一般使用直径1mm的中空纤维，以脱除原水中的悬浮物及胶体，UF用作前处理的大问题是膜污染及膜孔堵塞，为此常在前面设置预过滤器，以去除大粒径悬浮物，在预过滤前加絮凝剂，如PAC(聚丙稀酸)可提高过滤水质，并降低膜阻力。对电厂锅炉补给水系统要求的溶氧量一般要求为0.3 mg/L以下,为此脱气膜应该在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作。控制系统采用工控机程控控制，可实现自动起停，加药及冲洗，自动监测各种运行参数，以便生产管理。

全膜法超纯水设备系统有如下优点：

1、连续运行禅水质稳定品质更佳。

2、系统运行可靠性稳定。

3、运行成本低。

4、占地面积小。

5、自动化程度高。

6、操作及维护简单，无需接触酸碱。

7、使用安---全及环境良好。

8、无污水排放，无环境污染。

益民水处理生产的超纯水设备处力：按客户要求设计

出水指标：≥16-18.2MΩ．CM

产水用途：电子、单晶硅/多晶硅用工业超纯水、纯水、单晶硅多晶硅清洗超纯水、硅片硅材料清洗超纯水

我们公司专业生产全膜法超纯水设备，有多年的生产经验，尤其在电控系统PLC方面在水处理行业技术都是比较成熟，我们也有做过很多各行业的水处理设备，这方面我们有丰富的经验。我们公司做出来的设备质量比他们都有优势，在国内具有的市场jing争力。该产品由于具备性能好、价格低于国外同类产品价格、供货及时、售后服务方便快捷等诸多优势。在硅片，太阳能光伏，半导体，LED、LCD、光电光学企业的脱盐水和超纯水装置，得到了业界的广泛赞誉，欢迎广大客户前来参观考察。益民争创业内水处理di一品牌-竭诚为新老客人提供产品和技术服务。

单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能光伏电池硅片清洗超纯水设备工艺

全膜法超纯水设备在设备设计上，采用成熟、可靠、先进、自动化程度高的两级RO＋EDI水处理工艺，预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺，除盐采用二级反渗透＋EDI工艺使産水电阻率达到15MΩ.cm以上，终端供水采用变频供水泵＋二级精精混床＋终端超滤膜确保处理后的超纯水水质电阻率达到18.2MΩ.cm，利用率高，运行可靠，经济合理。关键设备及材料均采用主流先进可靠产品，采用PLC＋触摸屏控制，全套系统自动化程度高，系统稳定性高。

单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能电池硅片清洗超纯水设备选益民水处理，我公司设计的超纯水设备采用成熟、可靠、先进、自动化程度高的二级反渗透+EDI+精混床除盐水处理工艺，确保处理后的超纯水水质确保处理后出水电阻率达到18.2 MΩ.cm。

单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能电池硅片清洗超纯水设备关键设备及材料均采用主流先进可靠产品，采用PLC＋触摸屏控制，全套系统自动化程度高，系统稳定性高。大大节省人力成本和维护成本，水利用率高，运行可靠，经济合理。使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

我们公司专业生产二级反渗透+EDI+精混床除盐超纯水设备，有多年的生产经验，尤其在电控系统PLC方面在水处理行业技术都是比较成熟，我们也有做过很多各行业的水处理设备，这方面我们有丰富的经验。我们公司做出来的设备质量比同行具有更大的优势，在国内具有的市场jing争力。该产品由于具备性能好、价格低于国外同类产品价格、供货及时、售后服务方便快捷等诸多优势。在太阳能光伏、LED、LCD、半导体、光电光学企业的脱盐水和超纯水装置，得到了业界的广泛赞誉，欢迎广大客户前来参观考察我公司的厂房及超纯水设备工程案例。

单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能光伏电池硅片清洗超纯水设备部分案例：

东莞南波光伏科技有限公司 18MΩ·CM太阳能光伏工艺用水UF+二级RO+EDI+MB

亚洲硅业（青海）有限公司 18MΩ·CM多晶硅材料清洗用水UF+二级RO+EDI+MB

四川新光硅业科技有限责任公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二级RO+EDI+MB

青岛昌盛日电太阳能科技有限公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二级RO+EDI+MB

宜昌南玻硅材料有限公司 18MΩ·CM硅材料清洗用水UF+二级RO+EDI+MB

江西晶科能源有限公司 18MΩ·CM太阳能工艺用水二级RO+EDI+MB

江西江特锂电池材料有限公司  18MΩ·CM太阳能光伏电池生产用水二级RO+EDI+MB

江门市雁明贸易发展有限公司（罗马尼亚） 18MΩ·CM太阳能光伏工艺用水UF+二级RO+EDI+MB

夏津奥德新能源有限公司 18MΩ·CM单晶硅片清洗用水UF+二级RO+EDI+MB

成都旭双太阳能科技有限公司 18MΩ·CM太阳能光伏工艺用水UF+二级RO+EDI+MB

上海韩科电子科技有限公司 18MΩ·CM太阳能电池片清洗UF+二级RO+EDI+MB

我相信只有您实地考察，看了我们的厂房及工程设备，才会相信我们的实力，我们随时欢迎您的到来。耐心解答您的咨询，咨询我们前，请您告诉我们几个参数：

1.原水水源（自来水，地下水井水，河水，湖水...)，除了自来水，其它的水源，需要提供水质报告，水源不一样，处理工艺不一样，费用就有很大的差别;

2.配置（需要高---端配置还是一般配置，就是指水泵有国产的还是进口的，反渗透膜用海德能的还是陶氏的...）

3.控制（用PLC全自动控制,还是手动控制)

4.出水水质要达到什么标准，电阻率要达到多少，有什么用途，如果不知道，也没关系，告诉我们您是做什么产品的，我们做给您设计出符合您生产要求的方案。

应用场合：　

光伏电池及组件，晶体硅电池及组件、各类薄膜电池组件、聚光电池及系统,光伏相关零部件，蓄电池、充电器、控制器、转换器、记录仪、逆变器、监视器、支架系统、追踪系统、太阳电缆等；

光伏应用产品，光伏太阳能照明、太阳能家用电器、太阳能信号灯、太阳能显示屏、太阳能草坪灯及其他太阳能光电应用产品等光伏原材料，硅料、硅锭/硅块、硅片、封装玻璃、封装薄膜、其他原料；

光伏工程及系统，太阳能建筑一体化应用、太阳能外墙及屋顶组件、光伏系统集成、农村光伏发电系统、太阳能检测及控制系统、测量及控制系统、太阳能光伏工程程序控制和工程管理及软件编制系统。

我们能够提供的服务　　

1、原水水质分析　　

2、水处理工艺技术方案与工程设计　　

3、水处理项目投资报告、可行性分析　　

4、水处理系统安装调试、技术施工服务　　

5、反渗透设备维护、清洗、保养及售后服务　　

6、技术培训　　

7、工程施工管理及技术监督，跟踪服务　　

8、反渗透膜的清洗、多种零件的更改

单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能光伏电池硅片清洗超纯水设备的售后服务　　

1、负责所供设备的指导安装调试。　　

2、提供需方设备维护人员培训。　　

3、对所售设备提供一年保修（易损易耗件除外）、终生维修。　　

4、为用户建立计算机管理档案，定期回访。　　

5、设立顾客满意电话，随时接受用户咨询。　　

6、分布在各地的售后服务人员将即时解决用户使用中产生的问题。 　　

我公司专业生产单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能光伏电池硅片清洗超纯水设备、半导体，多晶硅，光电，LED,LCD等行业用高纯水、超纯水设备，可根据你的需要定制各种型号。我们更专业你才能更放心 ，我们诚信服务让你满意100 。　 以品质获取市场信任，以服务赢得客户信任

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