关键字: 商品分类:
工程案例

字号:   

中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997

浏览次数: 日期:2010年3月2日 13:51

摘要:

中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997
 

附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
 
电阻率
25

*cm

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L
>1μm颗粒
≤个/ml
细菌
≤个/ml
硝酸根
≤g/L
磷酸根
≤μg/L
硫酸根
≤μg/L
TOC
≤μg/L
EW-I
18*
2
0.2
0.2
0.1
0.5
0.5
1
0.1
0.01
1
1
1
20
EW-II
15 **
10
0
0
1
2
2
1
5
0.1
1
1
1
100

*95%时间不低于17),**95% 时间不低于13
 

 


中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
 指标\级别
 EW-Ⅰ
 EW-Ⅱ
EW-Ⅲ 
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ,cm(25℃)
18以上,(95%时间)不低于17
15,(95%时间)不低于13
 12.0   
0.5   
全硅,最大值,μg/L
2
10
50
1000
1μm微粒数,最大值,个/mL
0.1
5
10
500
 细菌个数,最大值,个/mL
0.01
0.1
10
100
 铜,最大值,μg/L
0.2
1
2
500
 锌,最大值,μg/L
0.2
1
5
500
 镍,最大值,μg/L
0.1
1
2
500
 钠,最大值,μg/L
0.5
2
5
1000
 钾,最大值,μg/L
0.5
2
5
500
 氯,最大值,μg/L
1
1
10
1000
 硝酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 磷酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 硫酸根,最大值,μg/L
1
1
5
500
 总有机酸,最大值,μg/L
20
100
200
1000